CFD Serisi Yüksek Hassasiyetli Dozaj Pompası

CFD (Chemical Fluid Dispensing) serisi, Iwaki’nin yarı iletken gofret (wafer) proseslerinde kullanılan, artırılmış saflık gerektiren kimyasal sıvıları hassas dozajlarla besleyen pompasıdır. Amonyak suyu ve hidrojen peroksit gibi buhar basıncı yüksek kimyasallar da bu pompa ile güvenle taşınabilir.

Florür plastik yapı ve hassas dozajlama

Pompanın tüm ıslak uç parçaları florür plastikten (PTFE, PFA, PCTFE) üretilmiştir; bu yapı yüksek saflık ve üstün kimyasal direnç sağlar. Pompa basınçlı hava ile tahrik edilen pnömatik bir körük pompasıdır; vuruş başına deşarj hacmi fabrika ayarından (CFD-1T-B: 1 ml, CFD-8T-B: 8 ml) belirtilen aralıkta değiştirilebilir, maksimum vuruş hızı 30 spm’dir. Bağlantılar 1/4” PFA hortumludur.

Kullanım koşulları

CFD serisi 20-60°C sıvı sıcaklığı aralığında ve 0,05 MPa’ya kadar basınçta çalışacak şekilde tasarlanmıştır. Düşük basınç ve düşük vuruş hızı aralığı, pompayı yüksek debi değil, yüksek tekrarlanabilirlik ve hassasiyet gerektiren replenishment (yenileme/tamamlama) uygulamaları için uygun kılar. Teknik detaylar için üreticinin CFD_W0149-02 (CAT-W 0149-02) dokümanına başvurulmalıdır.

Uygulama alanları

Seri, öncelikle yarı iletken fabrikalarında gofret temizleme hatlarındaki kimyasal tanklara hassas miktarlarda kimyasal ekleme (replenishing) işlevi için kullanılır. Yüksek buhar basınçlı kimyasalların (amonyak suyu, hidrojen peroksit) güvenli transferi, florür plastik gövde yapısı sayesinde mümkün olur.