FS Serisi Pnömatik Körük Pompası
Yarı iletken proseslerinde kullanılan PTFE/PFA gövdeli, salmastrasız pnömatik körük (bellows) pompası. 6.000 l/saat, 0,5 MPa basınç, 5-180°C sıcaklıkta çalışır.
Teknik özellikler
| Tahrik yöntemi | Pnömatik (basınçlı hava) tahrikli, sensör kumandalı körük (bellows) pompası |
|---|---|
| Maksimum kapasite | 6.000 l/saat (50 Hz) |
| Maksimum basınç | 0,5 MPa |
| Maksimum vuruş hızı | 240 vuruş/dakika (spm) |
| Ana malzeme | PTFE / PFA (florür reçine) |
| Islak uç yapısı | Tüm ıslak parçalar florür reçineden; dış yüzey de florür reçine kaplı, metal yüzey dışarıda görünmez |
| Sıvı sıcaklığı | 5-180 °C |
| Kontrol sistemi | Dahili yakınlık sensörü (proximity switch) ile solenoid açma/kapama; harici pompa sürücüsüyle deşarj izlenebilir |
| Bakım | Yakınlık sensörleri pompa sökülmeden değiştirilebilir, gövde cıvataları yeniden sıkılmaya ihtiyaç duymaz |
FS serisi, Iwaki’nin yarı iletken üretim hatları için geliştirdiği pnömatik tahrikli körük (bellows) pompa ailesidir. Islak uç dahil tüm parçaların florür reçineden (PTFE/PFA) üretilmesi ve dış yüzeyin de florür reçine ile kaplanması sayesinde hiçbir metal yüzey dışarıya açık kalmaz; bu yapı, yarı iletken proseslerinde kritik olan parçacık kontaminasyonunu en aza indirir. Aynı ailenin FW/-H ve FA modelleriyle birlikte “F serisi” pnömatik körük pompaları grubunu oluşturur ve üretici aynı teknik dokümanda (F_W0051-07) üç modeli birlikte listeler.
Sensör tahrikli körük mekanizması
Pompa, dahili yakınlık sensörleri (proximity switch) aracılığıyla solenoid valfi açıp kapatan bir “sensör tahrik sistemi” ile çalışır; bu yapı, farklı pompa sürücüleri kullanıldığında deşarjın kolayca kontrol edilip izlenmesini sağlar. Boyut, ağırlık ve maliyet küçültülerek vuruş hızı 240 spm’e kadar çıkarılmış, bu sayede pulsasyon etkisi de azaltılmıştır (gerçek vuruş hızı pompa tipine göre değişir). Yakınlık sensörleri pompa sökülmeden değiştirilebildiğinden ve gövde cıvatalarının yeniden sıkılması gerekmediğinden, bakım kaynaklı duruş süreleri kısalır.
Kullanım koşulları
Üretici verilerine göre FS serisi 5-180°C sıvı sıcaklığı ve 0,5 MPa’ya kadar basınç altında çalışabilir; bu geniş sıcaklık ve basınç aralığı, pompayı temizleme (washing), CMP ve kimyasal sirkülasyon proseslerinde kullanılabilir kılar. Iwaki America’nın kardeş ürün sayfasında aynı seri FS-15HT/FS-30HT/FS-60HT gibi model varyantlarıyla ve aynı 5-180°C sıcaklık aralığı ile 240 spm vuruş hızıyla listelenir; kesin model bazında debi ve bağlantı ölçüleri için üretici teknik dokümanına (F_W0051-07.pdf) başvurulmalıdır.
Uygulama alanları
Tüm ıslak uç yüzeylerin florür reçineden olması ve şaft sızdırmazlığının parçacık emisyonunu düşürecek şekilde tasarlanması (patent başvurusu bekleyen tasarım) nedeniyle FS serisi, yarı iletken fabrikalarının ıslak bench hatlarında, CMP kimyasal beslemesinde ve genel kimyasal sirkülasyon/temizleme uygulamalarında tercih edilir.
Kullanım alanları
- Yarı iletken üretiminde ıslak bench (wet-bench) prosesleri
- CMP (kimyasal-mekanik parlatma) kimyasal transferi
- Kimyasal sirkülasyon ve temizleme (cleaning) hatları
FS Serisi Pnömatik Körük Pompası için teknik teklif alın
Uygulamanızı anlatın; doğru model ve konfigürasyonu birlikte belirleyip projelendirelim.