FA Serisi Pnömatik Körük Pompası

FA serisi, Iwaki’nin yarı iletken gofret (wafer) işleme hatları için geliştirdiği pnömatik tahrikli körük (bellows) pompa ailesidir. FS ve FW/-H serileriyle aynı ıslak uç malzeme felsefesini (tüm ıslak parçalar PTFE/PFA florür reçine) paylaşır, ancak seri içindeki iki model birbirinden farklı geometrik yapılarla farklı proses ihtiyaçlarına hitap eder.

İki model, iki farklı geometri

Tek gofret (single wafer) işleme için üretici, düşük debili ve sprey sistemiyle donatılmış FA-2E yatay (horizontal) tipini sunar. Yüksek debi gerektiren ve 200/300 mm gofretlerin temizlenmesine yönelik uygulamalar için ise FA-40VEW dikey (vertical) tipi kullanılır; bu model, yüksek deşarj basınçlarında sürekli çalışmaya uygun sağlam körük tasarımıyla uzun ömür sunar. Her iki model de dahili yakınlık sensörleriyle çalışan sensör tahrik sistemine sahiptir; solenoid valf bu sensörler aracılığıyla açılıp kapatılır ve düşük vuruş hızlarında bile kararlı çalışma sağlanır. Özel pompa sürücüsü kullanıldığında deşarj kolayca izlenip kontrol edilebilir.

Kullanım koşulları ve uygulama alanları

Üretici verilerine göre FA serisi 5-100°C sıvı sıcaklığı aralığında, 0,4 MPa’ya kadar basınçta ve model bazında 150 spm (FA-2E-1) / 80 spm’e (FA-40VEW) kadar vuruş hızında çalışır. Tüm ıslak uç yüzeylerin florür reçineden olması, ısıya ve aşındırıcı kimyasallara karşı yüksek direnç sağlayarak agresif kimyasalların parçacık emisyonu olmadan güvenle transferine imkân tanır. Bu özellikler, FA serisini özellikle yarı iletken gofret temizleme ve tek gofret işleme hatlarında tercih edilir kılar.