FA Serisi Pnömatik Körük Pompası
PTFE/PFA ıslak uçlu pnömatik körük pompası; gofret işleme için FA-2E (yatay) ve FA-40VEW (dikey) modelleri. 2.400 l/saat'e kadar debi (FA-40VEW), 0,4 MPa basınç, 5-100°C.
FA Serisi Pnömatik Körük Pompası için teknik teklif alın — Uygulamanızı anlatın; doğru model ve konfigürasyonu birlikte belirleyelim.
Teknik özellikler
| Tahrik yöntemi | Pnömatik (basınçlı hava) tahrikli, sensör kumandalı körük (bellows) pompası |
|---|---|
| Maksimum kapasite | FA-40VEW: 2.400 l/saat (40 l/dak); FA-2E-1: 120 l/saat (2 l/dak) |
| Maksimum basınç | 0,4 MPa |
| Maksimum vuruş hızı | FA-2E-1: 150 spm; FA-40VEW: 80 spm |
| Ana malzeme | PTFE / PFA (florür reçine) |
| Sıvı sıcaklığı | 5-100 °C |
| FA-2E modeli | Yatay (horizontal) tip, düşük debi; sprey sistemiyle tek gofret (single wafer) işleme için |
| FA-40VEW modeli | Dikey (vertical) tip, yüksek debi; sürekli çalışmaya uygun sağlam körük tasarımı, 200/300 mm gofret toplu temizleme |
| Kontrol sistemi | Dahili yakınlık sensörü (proximity switch) ile solenoid açma/kapama |
Iwaki FA serisi, yarı iletken gofret (wafer) işleme ve yüksek saflıkta kimyasal hatları için tüm ıslak uç parçaları PTFE/PFA florür reçineden üretilen, tek gofret sprey işleme için yatay tip FA-2E-1 (120 L/saat = 2 L/dak, 150 spm) ve 200/300 mm toplu gofret temizleme için dikey tip FA-40VEW (2.400 L/saat = 40 L/dak, 80 spm) modellerinden oluşan, 0,4 MPa basınç ve 5–100°C sıcaklık dayanımlı pnömatik körük (bellows) pompasıdır (Kaynak: Iwaki F Serisi Kataloğu F_W0051-13 ve FA Kılavuzu T266-5). Iwaki Türkiye distribütörü Mikron Proses (Üsküdar, İstanbul) tarafından tedarik, kurulum ve devreye alma kapsamıyla sunulmaktadır.
FA serisi, Iwaki’nin yarı iletken gofret (wafer) işleme hatları için geliştirdiği pnömatik tahrikli körük (bellows) pompa ailesidir. FS ve FW/-H serileriyle aynı ıslak uç malzeme felsefesini (tüm ıslak parçalar PTFE/PFA florür reçine) paylaşır, ancak seri içindeki iki model birbirinden farklı geometrik yapılarla farklı proses ihtiyaçlarına hitap eder.
İki model, iki farklı geometri
Tek gofret (single wafer) işleme için üretici, düşük debili ve sprey sistemiyle donatılmış FA-2E yatay (horizontal) tipini sunar. Yüksek debi gerektiren ve 200/300 mm gofretlerin temizlenmesine yönelik uygulamalar için ise FA-40VEW dikey (vertical) tipi kullanılır; bu model, yüksek deşarj basınçlarında sürekli çalışmaya uygun sağlam körük tasarımıyla uzun ömür sunar. Her iki model de dahili yakınlık sensörleriyle çalışan sensör tahrik sistemine sahiptir; solenoid valf bu sensörler aracılığıyla açılıp kapatılır ve düşük vuruş hızlarında bile kararlı çalışma sağlanır. Özel pompa sürücüsü kullanıldığında deşarj kolayca izlenip kontrol edilebilir.
Kullanım koşulları ve uygulama alanları
Üretici verilerine göre FA serisi 5-100°C sıvı sıcaklığı aralığında, 0,4 MPa’ya kadar basınçta ve model bazında 150 spm (FA-2E-1) / 80 spm’e (FA-40VEW) kadar vuruş hızında çalışır. Tüm ıslak uç yüzeylerin florür reçineden olması, ısıya ve aşındırıcı kimyasallara karşı yüksek direnç sağlayarak agresif kimyasalların parçacık emisyonu olmadan güvenle transferine imkân tanır. Bu özellikler, FA serisini özellikle yarı iletken gofret temizleme ve tek gofret işleme hatlarında tercih edilir kılar.
İlgili Çözümler ve Teknik Kaynaklar
Teknik Doküman ve Kılavuzlar
- F Serisi Pnömatik Körük Pompaları Kataloğu (F_W0051-13) Katalog · PDF
- FA Serisi Kullanım Kılavuzu (T266-5) Kullanım Kılavuzu · PDF
Dokümanlar üretici kaynağıyla son olarak 2026-09-26 tarihinde karşılaştırıldı.
FA Serisi Pnömatik Körük Pompası Hakkında Sıkça Sorulan Sorular
FA Serisi Pnömatik Körük Pompası teknik özellikleri, uygulama koşulları, kalibrasyon ve tedarik hakkında sık sorulan sorular.
Iwaki FA-2E-1 ve FA-40VEW modelleri arasında ne fark vardır?
FA-2E-1 tek gofret (single wafer) sprey işleme için geliştirilmiş yatay tip, 120 L/saat (2 L/dak) kapasiteli ve 150 spm vuruş hızlı modeldir; FA-40VEW ise 200/300 mm toplu gofret temizleme banyoları için geliştirilmiş dikey tip, 2.400 L/saat (40 L/dak) kapasiteli ve 80 spm vuruş hızlı modeldir.
FA serisi pnömatik körük pompalarının basınç ve sıcaklık sınırları nedir?
PTFE/PFA ıslak uçlu FA serisi 5°C ile 100°C arasındaki sıvı sıcaklıklarında ve maksimum 0,4 MPa (4 bar) basma basıncında çalışır; dahili yakınlık sensörü (proximity switch) ile solenoid valf üzerinden kumanda edilir.
Yarı iletken gofret (wafer) proseslerinde neden PTFE/PFA körük pompası kullanılır?
Tüm ıslak uç parçaları PTFE/PFA florür reçineden üretildiği için yarı iletken gofret işleme ve temizleme hatlarında kullanılan yüksek saflıkta kimyasallarla yüksek kimyasal uyumluluk sağlar.
FA serisinde körük hareketinin kontrolü nasıl sağlanır?
Pompa gövdesi içine entegre edilmiş yakınlık sensörü (proximity switch), körük kursunun son noktasını algılayarak harici solenoid valfi açıp kapatır ve kararlı strok kontrolü sağlar.
Türkiye'de Iwaki FA serisi pnömatik körük pompası nereden alınır ve kim kurar?
Iwaki FA-2E ve FA-40VEW pnömatik körük pompaları, Iwaki Türkiye distribütörü Mikron Proses (Üsküdar, İstanbul) tarafından proses seçimi, tedarik, kurulum ve devreye alma kapsamıyla sunulmaktadır.
Diğer Iwaki Ürünleri
FA Serisi Pnömatik Körük Pompası için teknik teklif alın
Uygulamanızı anlatın; doğru model ve konfigürasyonu birlikte belirleyip projelendirelim.